金屬陶瓷複合材料MMC

金屬陶瓷復合材料 （MMC）

發揮MMC的輕量高剛性、振動減衰特性的各種精密機械部品

• 用途

半導體生產設備・檢查設備、液晶生產設備・檢查設備、其他

• 產品

Al／SiC 復合材料、 Al／Si 復合材料、Si／SiC 復合材料

結構陶瓷:

發揮陶瓷的耐熱、耐腐蝕、耐磨耗特性的各種精密部品

• 用途

精密機械部品、治具類、閥門部件、泵部件、其他

• 產品

碳化硅(SiC)、氮化硅(Si₃N₄)、氧化鋁(Al₂O₃)、氧化鋯(ZrO₂)

電子陶瓷

發揮陶瓷電氣特性的各種電氣・電子部品

• 用途

毫米波・微波用部件・部材薄膜集成電路組件(MIC)、高品質氧化鋁基板、高電介質基板

• 產品

氧化鋁基板、Ceraflex^® (氧化鋯薄板)、薄膜集成電路